AlN-Vorlage
AlN auf der Silizium-Schablone
Eine äußerst vielseitige AlN-on-Si-Vorlagenplattform. Die hochwertige AlN-Schicht unterstützt eine Vielzahl von Anwendungen, darunter GaN-Leistungs-/RF-Epitaxie, piezoelektrische MEMS (SAW/BAW-Filter) und fortschrittliche photonische Bauelemente, was eine nahtlose Integration mit ausgereiften Siliziumfertigungsprozessen ermöglicht.