Silizium-Epitaxie für Leistungsbauelemente
1) Leistungs-MOSFETs und IGBTs N/N⁺ Silizium-Epi-Wafer können mit kontrollierter Epi-Dicke und -resistivität konstruiert werden, um den Driftbereich von Hochspannungsgeräten zu bilden. Typische Anwendungen sind: Leistungs-MOSFETs, IGBTs, Leistungsmodule, Industrielle Motorantriebe, Leistungselektronik der Automobile. Die Epi-Schicht kann je nach Zieldurchschlagsspannung, Ein-Widerstand und Bausteinarchitektur angepasst werden. 2) Schottky- und JBS-Dioden Leicht dotierte Silizium-Epi-Schichten auf stark dotierten Substraten können verwendet werden, um den Kompromiss zwischen Durchschlagsspannung und Vorwärtsspannung zu optimieren. Typische Anwendungen: Schottky-Dioden JBS-Dioden Leistungsgleichrichter